Un cuptor tubular cu vid aparține grupului de cuptoare cu perete cald, în care tubul este încălzit din exterior prin elementele de încălzire expuse în atmosfera ambiantă. În funcție de materialul și dimensiunea tubului, temperatura maximă de operare în vid variază. La capatele tubului de lucru, se montează flanșe de vid. În funcție de material și de dimensiune unele cuptoarele tubulare necesită sau nu răcire cu apă.
Of course, vacuum itself is a possible atmosphere for vacuum tube furnaces. Depending on the application, the vacuum level can be rough, fine, high, or even ultra-high vacuum. Additionally, as a vacuum furnace allows complete removal of the atmosphere, it is also possible to work with various gases or mixtures, such as Argon, Nitrogen, Hydrogen, Carbon Monoxide, Helium etc. For non-metallic tubes, even corrosive gases, such as Ammonia or Silane among many others become possible.
The combination of maximum size and temperature required for the application decides whether a vacuum tube furnace is sufficient or a cold wall vacuum chamber furnace is required. For vacuum temperatures of 1450°C, the maximum inner diameter of the tube is restricted to 88 mm. In this case the work tube is a consumable with limited lifetime and restricted to low temperature ramps. Larger sizes or higher temperatures require a vacuum chamber furnace.
